光刻机巨头CEO曾断言中国造不出EUV!5年后国产突破打脸

2020年,维尼克在一个行业大会上提到中国芯片行业的发展潜力,说“中国现在想要独自掌握最先进的光刻技术挺难的,光凭一个国家搞定几乎没戏”。

他提到,阿斯麦的EUV光刻机背后靠的是国际化的供应链,集结了德国、日本还有美国等地的高端技术,中国要在短时间内复刻这种庞雑的系统确实不容易。

媒体把这话一下子炒热,标题起得挺夸张,消息很快传到国内,激起了不小的波澜。

光刻机在芯片制造里头可是关键设备,EUV光刻机更是先进工艺的核心。阿斯麦为EUV技术折腾了足足20年,砸下去的研发资金超60亿欧元,背后那专利有好几千项呢。

激光系统这一块,美国Cymer出货,镜片是德国蔡司的手艺,机械臂则靠日本出品,哪一个部件断供,整个生产线都得趴窝。维尼克做出这样的判断,也因为技术难度在这搁着,再加上中国那会儿的产业基础摆在那里。

2020年,国内半导体自供率也就占到15.9%,光刻机基本上是靠外头买来的,上海微电子装备公司生产的DUV光刻机最多只能做到90纳米工艺,真要跟EUV的7纳米相比,那差距还是蛮悬的。

维尼克说的话,其实没把中国市场的潜力和干劲放在心上,他在内部会上也反复提过,中国有数量惊人的工程师团队,还有全社会的合力支持,长远来看绝对不能低估。但外头媒体一报道,就成了他不把中国技术放眼里的意思,这下可刺激到中国半导体圈子了。

2020年,咱们国家对半导体行业的支持力度一下就拉高了,当年预算直接从2019年的80亿美元飙到350亿美元,涨幅超过400%。全国一堆大学纷纷上马微电子专业,每年能培养出来好几万人才。像华为、中芯国际这些大公司也紧锣密鼓搞自主创新,想办法突破外部的技术卡脖子。

维尼克这番话,其实就是中美科技竞争的一种写照。自2019年起,美国就盯上阿斯麦,禁止人家把EUV光刻机卖到中国,说是为了防止“军事用途”。荷兰方面因为盟友跟着催,也不得不停掉了出口许可。

阿斯麦这31台EUV光刻机,全都卖到了世界其他地方,一台都没送到中国。维尼克对此也挺感叹,毕竟中国市场对公司来说相当重要,收入份额超过20%。在2020年,阿斯麦还向中国交付了46台DUV光刻机,打破了公司过往的纪录。

美国的限制逐步加码,到了2022年10月,《芯片法案》直接把14纳米以下的DUV光刻机封死,不许卖到中国,让阿斯麦的市场空间被进一步缩小了。

2023年3月,荷兰方面正式对DUV光刻机出口进行了新的限制,这一下就让阿斯麦在中国的业务受到不小的影响。维尼克在内部会上直言,这些限制肯定会让公司营收减少,可架不住,规矩还是得照办。

维尼克多次奔走,想办法说动荷兰政府放松管制,结果效果一般。他在接受采访时无奈表示:“政治说了算,商业这点小九九根本没用,我们也没啥办法。”在这种压力下,中国半导体行业干脆撸起袖子自己搞创新,上海微电子的DUV光刻机在2023年成功实现了28纳米制程的大规模量产,这一举动直接突破了技术卡点。

维尼克的那番话,其实挺能说明西方总觉得中国在技术上还差点意思,不过,他们好像也低看了咱中国科研工作者那股子拼劲儿。咱确实还有些地方不够,比如EUV光刻机的关键元部件,像光刻胶、电子气体和掩膜板,现在还得靠国外,可在成熟制程这儿已经闯出了一条新路,这让西方也有点坐不住了。

2024年,华为推出的新款芯片,虽然还没有突破7纳米这道坎,可性能已经赶上了当下主流产品,这说明设计水平提升得挺快。中芯国际这边,28纳米工艺已经稳定地批量生产,14纳米工艺也走到了试产这一步,两者慢慢在把同国际大厂之间的距离拉近。

2024年,全球地缘政治的火药味加重了不少。美国这头,对中国的出口限制搞得更严,到了3月,拜登团队又对AI芯片和相关设备的出口规则做了新调整,把管理范围直接扩展到了DUV光刻机的维修服务。荷兰也被美国施压,只能让ASML在为中国客户提供技术支持时变得束手束脚。

中国半导体行业在重压之下展现了强大生命力,政府持续加码资金支持,整个行业的研发投入已经突破400亿美元。上海微电子的DUV光刻机也在28纳米技术上跑起来了,还有些设备已经进了中芯国际的生产线。

高校和研究所源源不断培养着微电子方面的专业人才,像清华大学、北京大学这样的学府,每年都有大批毕业生投身于华为、长江存储这些企业。2024年6月,深圳那次科技展,国产光刻机成了全场的焦点,尽管和EUV相比还有些差距,不过已经能满足成熟工艺的大规模生产了。

上海微电子的新型设备已经可以实现14纳米工艺的试产,关键零部件的国产化水平肉眼可见地提升了。华为跟中芯国际在芯片设计和生产这块儿紧密配合,瞄准突破技术瓶颈。2025年5月,华为有款新的芯片正式亮相,性能已经快赶上10纳米工艺,算是让大家看到了中国在成熟工艺领域展现出来的实力。

2025年6月,中美依旧杠得不轻。中国这边还是那句老话,“自主创新”挺在嘴边;美国那边则时刻挂念着“国家安全”。半导体行业,咱们国内虽说还没完全摆脱对欧美的那点依赖,可自给率已经从原先的15.9%涨到了2025年的25%。中芯国际投入在扩产线上没含糊,28纳米芯片在汽车、家用电器行业用得不少,14纳米工艺的试产也撑起了5G和AI设备的需求。

维尼克说的话,现在看来有点偏颇,但也算给大家敲了个警钟。90纳米追到28纳米,咱们花了十年不到;28纳米迈向14纳米,速度更快了。EUV光刻机要自己整出来,可能还得再熬几年,不过每次技术的进步都让距离慢慢缩小。